清华大学机械工程系博士研究生导师简介：朱煜

清华大学机械工程系博士研究生导师简介：朱煜

　　朱煜 博士 教授/博导 机电所所长

　　62796124 62797543

　　zhuyu@tsinghua.edu.cn

　　清华大学机械工程系机械电子研究所IC装备研究室

　　清华大学工化电大楼伟清楼405室

　　教育背景

　　1979~1983年，北京师范大学，无线电电子学专业，获理学学士学位

　　1988~1993年，中国矿业大学，计算机技术与应用专业，获工学硕士学位

　　1998~2001年，中国矿业大学，机械设计及理论，获工学博士学位

　　工作履历

　　2007.12~2012.12/~今：清华大学精仪系制造所/机械系机电所，教授(研究员)，博导

　　2004.4~2007.11：清华大学精仪系，副教授

　　2001.9~2004.3：清华大学制造工程研究所博士后

　　1999.9~2001.7：清华大学制造工程研究所访问学者

　　1997.1~2004.3：中国矿业大学副教授

　　1983.8~1996.12：中国矿业大学讲师

　　学术兼职

　　IC装备重大专项实施方案编制专家组和总体专家组副组长(装备组组长);

　　中国机械工程学会高级会员，北京电子制造装备行业协会常务理事，《半导体学报》常务理事、编委，《仪器科学》编委;

　　电子科技大学兼职教授、中科院光电研究院兼职研究员、复旦大学微电子学院兼职教授;

　　光刻设备产业技术创新战略联盟副理事长、专家委员会副主任，沈阳IC装备产业技术创新联盟专家委员会副主任。

　　研究概况

　　带领教师、研究生与工程研究人员等组成的百余人重大科技研究攻关团队，面向IC制造装备的重大技术需求，围绕纳米级运动精度的生成，在超精密机械系统设计、超精密测量、超精密运动控制等方面，开展系统、深入的基础理论与关键技术研究。主持国家科技重大专项项目及国家基础科学研究计划课题，研制出纳米级超精密工件台系统、大行程气浮/磁浮平面电机、六自由度纳米精度微动台等半导体制造装备核心部件，掌握了IC制造装备包括超精密机械设计与制造、超精密激光干涉测量与标定、纳米精度高动态运动控制、高性能主动/被动隔振等具有自主知识产权的系列关键技术。主要学术研究兴趣：超精密动力学系统与控制、纳米精度工程与测控技术、IC制造装备机电系统等超精密机械与测控相关科技领域。

　　教学工作

　　参加清华大学机械学院平台课《制造工程基础》教学工作。

　　奖励与荣誉

　　2012年入选国家“万人计划”首批科技创新领军人才，科技部“重点领域创新团队”带头人;

　　2011年获科技部“十一五国家科技计划执行突出贡献奖”;

　　重大专项实施管理办公室“产学研合作奖”(2011)与“突出贡献奖”(2010);

　　2011年清华大学先进工作者。

　　学术成果

　　主持或参加国家级科研项目近20项，包括973、国家自然科学基金、国家科技重大专项、863等。主持撰写专项发展战略报告及专题研究报告30余份，合著学术专著1部(第二作者)，发表论文160余篇，其中SCI收录近36篇，EI收录近125篇。申请发明专利120余项(其中9项美国发明专利、14项PCT专利)，授权40余项(其中4项美国发明专利)。

　　代表著作

　　1、陈霸东，朱煜，胡金春，《系统参数辨识的信息准则及算法》，2011。

　　2、陈霸东，朱煜，胡金春，Jose C.Principe. System Parameter Identification Information Criteria & Algorithms，Elsevier(英文版). 2013.

　　代表论文

　　1) Zhu, Yu; Hu, Chuxiong; et al. Accuracy- and Simplicity-Oriented Self-Calibration Approach for Two-Dimensional Precision Stages. IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL ELECTRONICS. 60(1): 2264-2272, 2013

　　2) Zhu, Yu; Shengguo Zhang; et al. Augmentation of Propulsion Based on Coil Array Commutation for Magnetically Levitated Stage. IEEE Transactions on Magnetics，48(1):31-37, 2012

　　3) Zhu, Yu; Shengguo Zhang; et al. Current-bounded commutation of a long-stroke magnetically levitated stage with moving coils, CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING, 25(6): 1238-1244. 2012

　　4) Zhu, Yu; Chen Badong; et al. Adaptive filtering with adaptive p-power error criterion. International Journal of Innovative Computing Information and Control, 2011, 7(4): 1725-1737.

　　5) Zhu, Yu; Hu, Chuxiong; et al. Least-square based self-calibration of two-dimensional ultra-precision stages. 2011 IEEE International Conference on Mechatronics and Automation, p 597-602, 2011.

　　6) Zhu, Yu; Liu, Yu, et al. Analysis of a new magnetic bearing for magnetic levitation stages. Advanced Materials Research, v295-297, p 2106-2111, 2011.

　　7) Zhu, Yu; Hu, Chuxiong; et al. A transitive algorithm for self-calibration of two-dimensional ultra-precision stages. IEEE/ASME International Conference on Advanced Intelligent Mechatronics, p 594-598, 2011

　　8) Chen B.; Zhu Y.; Hu J.; System parameter identification: information theoretic criteria and algorithms. Tsinghua University Publisher, Beijing, 2011.

　　9) Min W.; Chen J. T., Zhu Z. Q., Zhu Y.; Zhang M., Duan G. H.. Optimization and comparison of novel E-core and C-core linear switched flux PM machines. IEEE Transactions on Magnetics, 2011, 47(8): 2134-2141.

　　10) Chen Badong; Zhu Yu; Hu Jinchun. Principe Jose C.. Delta-Entropy: Definition, properties and applications in system identification with quantized data. Information Sciences, 2011, 181(7): 1384-1402.

　　11) Min Wei, Zhang Ming, Zhu Yu; Liu Feng, Duan Guanghong, Hu Jinchun, Yin Wensheng. Analysis and design of novel overlapping ironless windings for planar motors. IEEE Transactions on Magnetics, 2011, 47(11): 4635-4642.

　　12) Chen Badong; Zhu Yu; Hu Jinchun, Principe Jose C.. Stochastic gradient identification of wiener system with maximum mutual information criterion. IET Signal Processing, 2011, 5(6): 589-597.

　　13) Liu Yu, Zhang Ming, Zhu Yu; Yang Jin, Chen Badong. Optimization of voice coil motor to enhance dynamic response based on an improved magnetic equivalent circuit model. IEEE Transactions on Magnetics, 2011, 47(9): 2247-2251.

　　14) Chen Badong; Zhu Yu; Hu Jinchun, Zhang Ming. On optimal estimations with minimum error entropy criterion. Journal of the Franklin Institute-Engineering and Applied Mathematics, 2010, 347(2): 545-558.

　　15) Cao Jiayong, Zhu Yu; Yin Wensheng, Xu Wei. Electromagnetic forces acting on the planar armature of a core-type SPMPM. IEEE Transactions on Magnetics, 2009, 45(8): 3145-3150.

　　16) Chen Badong; Zhu Yu; Hu Jinchun, Sun Zengqi. Adaptive filtering under minimum information divergence criterion. International Jouranl of Control Automation and Systems, 2009, 7(2): 157-164.

文章来源：清华大学机械工程系