北京大学信息工程学院博士生导师简介：张海霞

2015-10-09 12:04:45来源：网络

　　考博考生生准备要参加博士研究生考试时，必须要先确定准备攻读博士的相关专业，然后选择该专业有招生需求的学校，接下来应该联系博士生导师，只有当博士生导师同意考生报考，考博生才可以报考。所以提前了解博士生导师的学术文章及联系方式很重要，新东方在线特整理了各招收博士院校博导的简介及联系方式供考博生参考。

　　张海霞

　　职称：教授、博导

　　电话：+86-10-62758911-17

　　Email：zhanghx@ime.pku.edu.cn

　　个人主页：http://ime.pku.edu.cn/mems/faculty/ Zhang/home.htm

　　研究方向：1、MEMS设计技术与工具开发; 2、SiC MEMS技术; 3、生物 MEMS技术; 4、纳米电子机械系统NEMS。

　　导师与研究领域、方向：

　　张海霞教授，1998年毕业于华中科技大学获得博士学位，之后加入清华大学做博士后研究。2001年加盟北京大学微电子学研究院。2004年至2006年，在美国加州大学戴维斯分校与凯斯西储大学任访问教授。现任中国微米纳米技术学会副秘书长，并担任全球华人微米纳米技术合作网络CINN执行主席，参与组织和承办IEEE NEMS等多个重要国际学术会议。担任4个国际一流杂志的审稿人(JMEMS，JMM，J. of Physics D: Applied Physics，以及<中国科学E辑:技术科学>。2006年获得国家技术发明二等奖。

　　研究方向包括：1、MEMS设计技术与工具开发;2、SiC MEMS技术;3、生物 MEMS技术;4、纳米电子机械系统NEMS

　　目前承担的主要科研项目：

　　作为项目主持人，主持了国家自然科学基金项目“DRIE工艺及其复杂现象的机理与建模研究”;科技部863项目“适用于植入式系统的无线能量和信号传输系统”和“ICP加工模型模拟与IP库”;973项目“纳机电结构加工工艺的评价与表征方法研究”;预研项目“特种MEMS薄膜生长技术及应用—碳化硅”;北京市自然科学基金项目“SiC材料制备工艺技术，结构特性及在MEMS中应用”等6个。作为骨干参加了4项国家和省部级科研项目的研究。

　　近5年来取得的主要成果：

　　主要创新性成果有以下几个方面：

　　(1) 2003年开发完成了国内第一套具有自主知识产权的MEMS CAD工具软件IMEE1.0，该软件目前已拥有来自10多个国家和地区的试用户500多家。2004年在国际上第一个提出刻蚀与钝化交替的DRIE模型，并在2005年与Intellisuite合作实现了商业化，目前已在全球销售20多套。

　　(2) 开创了PECVD SiC MEMS加工工艺与器件的研究，并创新地采用SiC薄膜封装技术将传统MEMS压力传感器的应用拓展到了高温腐蚀环境下。

　　(3) 2004年在国内首先开始了NEMS工艺的测试和表征研究。

　　(4) 2006年创新地提出了适用于植入式传感器网络的能量传播技术。

　　在JMM、Sensors & Actuators: A. Physical、MEMS03等国内外学术期刊和著名国际会议上发表学术论文50余篇，取得了申报软件著作权6项;参与编写教材一本。获得2006年度国家技术发明二等奖，2004年北京大学优秀班主任三等奖，2007年北京大学优秀青年教师教学奖。

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