武汉大学动力与机械学院博士生导师简介：桂成群

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　　桂成群

　　邮箱： cheng.gui.2000@gmail.com

　　武汉大学动力与机械学院教授、千人计划专家

　　教育背景：

　　1979年7月-1984年7月，清华大学机械制造工艺设备及自动化专业，本科

　　1984年7月-1986年7月，清华大学管理工程专业，硕士

　　1987年7月-1989年7月，清华大学机械工程，硕士

　　1994年9月-1998年11月，特温特大学电子工程，博士

　　1998年11月-1999年11月，特温特大学电子工程，博士后

　　工作经历：

　　1986年08月-1993年10月，北京 清华大学，助教、讲师

　　1993年11月-1994年10月，荷兰 MESA+ Institute, University Twente, Netherlands，访问学者/Research Fellow

　　1994年11月-1998年11月，荷兰 MESA+ Institute, University Twente, Netherlands，博士/PhD Researcher

　　1998年11月-1999年10月，荷兰MESA+ Institute Netherlands，微机电系统博士后 / Post Doctor Micro Systems

　　1999.11-2001.12 荷兰 ASML 高级系统工程师/ Sr. System Engineer

　　2002.1-2003.12 荷兰 ASML 技术市场经理/ Technical Marketing Manager

　　2004.1-2005.12 荷兰 ASML 平板显示器光刻机项目经理/Program Manager, FPD Scanner Program

　　2006.1-2008.12 荷兰 ASML战略事业部项目经理/Program manager, Strategic Business Division

　　2009.1-2010.12 波士顿/香港 Azores Corporation亚洲区总经理/General Manager Asia Operations

　　2010.1-今 荷兰 SIMAX 总裁/President

　　2016年至今 武汉大学动力与机械学院教授

　　个人专长：

　　桂成群教授长期从事高端光刻设备和技术的研究，开发和项目领导工作。是一位国际化，跨学科的高端创新型人才。先后在欧洲的ASML公司，美国的AZORES CORP公司，荷兰 SIMAX 公司，ADVANCE TREND 公司等工作15年。领导或参与了MEMS光刻机，TFH薄膜磁头用光刻机，G4/5代平板显示器光刻机，柔性电子光刻机，LED PSS 光刻机的研发和市场化项目。项目总经费累计超过一亿美元。所领导的研发团队从数十人到一百多人。在组织高端设备的研发方面积累了一套国际化的经验。其中，主持或参与的MEMS光刻机，TFH薄膜磁头制造用光刻机，G4.5代光刻机， 等光刻设备研发成功并推向市场。LED PSS(Patterned Sapphire Substrate )光刻机正在研发和市场化的过程中。所主持的光刻机研发项目，取得了200多项专利，其中，申请人本人作为发明人或联合发明人的国际专利或专利申请，近100项次(其中授权40余项美国专利)。代表性的专利发明原理或技术有大面积无掩模板光刻技术原理;用于大面积光刻的光学透镜的设计;用于MEMS光刻机的双面对准技术(3DALIGN);用于TFH薄膜磁头光刻机的图像拼接技术。在ASML工作10年期间发表了论文近十篇;公司内部技术报告200余篇。同时代表ASML，领导并参与荷兰应用科学研究院TNO和比利时IMEC联合创办的开放式创新中心HOLST CENTER的跨学科，跨业界的柔性电子制造项目的研发。取得了数项专利发明和论文。在加入ASML之前，申请人有12年在国内外大学和研究所从事科研和教学的经验。1986年起，在清华大学精密仪器系从事教学和科研工作8年，期间参与了国家七五和八五的科技攻关项目数项，并担任子课题负责人。项目有大型火力发电机组故障诊断系统的研发，新型传感器的研发。获得了国家，教育部和北京市的科技奖励数项。1993年起在荷兰特文特大学MESA+微纳米系统研究所从事研究工作。4年期间在国际期刊上发表论文30余篇;国际会议报告10余次，国际会议大会特邀报告一次。发表博士论文一本。

　　主要社会兼职：

　　1999年11月-2001年12月，荷兰ASML，高级系统工程师/ Sr. System Engineer

　　2002年01月-2003年12月，荷兰 ASML，技术市场经理/ Technical Marketing Manager

　　2004年01月-2005年12月，荷兰 ASML，平板显示器光刻机项目经理/Program Manager, FPD Scanner Program

　　2006年01月-2008年12月，荷兰 ASML，战略事业部项目经理/Program manager, Strategic Business Division

　　2009年01月-2010年12月，波士顿/香港 Azores Corporation，亚洲区总经理/General Manager Asia Operations

　　2010年01月至今，荷兰 SIMAX，总裁/President

　　2013年04月至今，荷兰 Advance Trend Limited，总裁/President