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浙江大学机械工程学院博士生导师简介：付新

2015-10-12 12:24:03来源：网络

　　主要科研项目1) 65nm浸液供给试验装置，上海微电子装备有限公司

　　2)时变大流量电液伺服系统的介质流动规律，国家973计划课题(2006CB705405)

　　3)IC装备中流体检测与控制单元技术的研究，国际合作重点项目(2008DFR70410)

　　4) 浸没流场及纳米气泡对45纳米光刻分辩率的影响，国家自然科学基金‘纳米制造的基础研究’重大研究计划培育项目(91023015)

　　代表性论文1) Xin Fu, Sufen Liu, Xiaodong Ruan, Huayong Yang,

　　Research on staggered oriented ridges static

　　micromixers, Sensors and Actuators B, 114 (2006) : 618-624

　　2) X. Fu, L. Hu, J. Zou, H. Y. Yang, X. D. Ruan,

　　C. Y. Wang, Divisionally analytical reconstruction of the magnetic

　　field around an electromagnetic velocity probe, Sensors

　　and Actuators A,2009.03,Vol. 150,No.1,12–23

　　3) X. Fu, L. Hu, K. M. Lee, H. Y. Yang, Dry calibration

　　of electromagnetic flowmeters based on numerical models

　　combining multiple physical phenomena (multiphysics), Journal

　　of Applied Physics, 2010.10, Vol.108, Issue 8, 108, 083908

　　4) Peng JG, Fu X, Chen Y, Response of a swirlmeter to oscillatory

　　flow, Flow Measurement and Instrumentation, 2008.4, 19 (2): 107-115

　　5) Wenyu Chen, Ying Chen, Jun Zou, Xin Fu, Huayong Yang,

　　Xiaodong Ruan, Guofang Gong, Effect of liquid dispensing

　　on flow field for immersion lithography, Journal of Vacuum

　　Science & Technology (B), 2009.9,Vol.27, No.5. 1071-1023

　　6) L Hu, J Zou, X Fu, H Y Yang, X D Ruan and C Y Wang,

　　A reconstruction approach to determine the magnetic

　　field around an electromagnetic velocity probe,

　　Measurement Science and Technology, 20(2009)015103(7pp)

　　7) L. Hu, J. Zou, X. Fu, H. Y. Yang, X. D. Ruan, C. Y. Wang,

　　Divisionally analytical solutions of Laplace’s equations

　　for dry calibration of electromagnetic velocity probes,

　　Applied Mathematical Modelling, 2009.07, Vol 33, No.7, 3130-3150

　　8) L. Hu, K.-M. Lee, and X. Fu, A Generalized Method

　　for Reconstructing the Magnetic Field Distribution of

　　an Electromagnetic Mechatronic System, IEEE/ASME Trans.

　　on Mechatronics, 2009.2030795

本文关键字: 浙江大学 考博 博士生导师

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